基于内模控制的线性执行器的高精度控制.doc

摘要：近年来，由于纳米技术的进步发展，高精度工作台获得了广泛的重视。在受控对象含有积分特性的情况下，论文提出了一种基于内模控制的响应快、控制精度高的控制方法。首先，我们提出将内模控制应用于积分对象所存在的一些问题。接着，为了克服这些问题，我们对内模控制引入了干扰观测器。针对积分对象，基于干扰观测器的内模控制，相较于传统的内模控制而言，具有无超调、易设计以及易实现的优点。实验结果表明，文中提出的控制系统获得了高精度的定位性能，并且在存在摩擦干扰的情况下，依然能保持稳定的鲁棒性。