低气压射频放电等离子体特性参数的研究.doc

低气压射频放电等离子体特性参数的研究

1.13万 29页 原创作品，通过查重系统


摘要
本文简要介绍了等离子体的特性和等离子体光谱诊断的原理及进展，通过光谱诊断系统测量了低气压射频等离子体发射光谱，利用玻尔兹曼曲线斜率法计算了等离子体电子温度并与等离子体源的放电模拟结果对比分析。结果表明，等离子体光谱诊断结果符合comsol模拟封闭式等离子体内部电子温度分布的一般规律， 等离子体区域电子温度随射频电压的增加而升高，随气压的增强而降低，随射频电源频率变化不明显。由于进气口和出气口位置导致的内部气体分布不均等原因， 使得电子温度呈一定的梯度分布， 这对于等离子体对电磁波的吸收是一个有利条件。课题所研究的低气压射频放电等离子体特性参数，将有助于研究满足军事装备需要的等离子体源。


关键词：等离子体 射频放电 光谱诊断 电子温度